హిక్మత్ ఎ హమద్, నిబ్రాస్ ఎఫ్ అలీ మరియు హైతమ్ ఎమ్ ఫరోక్
తక్కువ శక్తి స్పుట్టరింగ్ అయాన్ మూలం యొక్క కార్యాచరణ లక్షణాలు
ఈ పనిలో అయాన్ స్పుట్టరింగ్ కోసం ఉపయోగించే సవరించిన ఫ్రీమాన్ అయాన్ మూలం రూపొందించబడింది మరియు నిర్మించబడింది. ఈ అయాన్ మూలం ఎంపిక అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ పద్ధతులను ఉపయోగించి సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో దాని అద్భుతమైన విజయంపై ఆధారపడింది. డిజైన్ మరియు అయాన్ మూలం యొక్క కల్పన యొక్క వివరణాత్మక సాంకేతిక వివరణ ఇవ్వబడింది. థర్మియోనిక్ ఎమిషన్ కరెంట్ కొలతలు నిర్వహించబడ్డాయి మరియు అయాన్ మూలం యొక్క ఉత్సర్గ లక్షణాలు నిశితంగా పరిశీలించబడ్డాయి. అలాగే, వంటి కొన్ని పారామితుల ప్రభావాలు; స్పుట్టరింగ్ వోల్టేజ్, పీడనం, అయస్కాంత క్షేత్ర బలం, ఆర్క్ వోల్టేజ్ మరియు ఫిలమెంట్ కరెంట్ స్పుటర్డ్ ఎలక్ట్రోడ్ కరెంట్ యొక్క విలువపై అధ్యయనం చేయబడ్డాయి. ఈ పారామితులు స్వతంత్రంగా మారవచ్చని కనుగొనబడింది, ఇది అయాన్ సోర్స్ ఆపరేషన్ మరియు స్పుట్టరింగ్ ప్రక్రియను నియంత్రించడానికి మాకు వీలు కల్పిస్తుంది. ఒక సాధారణ స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ వెలికితీత ప్లేట్‌ని ఉపయోగించి సంగ్రహించిన అయాన్ కిరణాల ప్రాథమిక ఫలితాలు, స్పుట్టరింగ్ ప్రక్రియలో గుర్తించబడిన మొత్తం అయాన్ బీమ్ కరెంట్‌లో తగ్గింపును చూపుతాయి.
English 
Spanish 
Chinese 
Russian 
German 
French 
Japanese 
Portuguese 
Hindi