జర్నల్ ఆఫ్ నానోమెటీరియల్స్ & మాలిక్యులర్ నానోటెక్నాలజీ

నానోలితోగ్రఫీ

నానోలిథోగ్రఫీ అనేది నానోమీటర్-స్కేల్ నిర్మాణాలను రూపొందించడం మరియు సూక్ష్మదర్శిని స్థాయిలో చెక్కడం, రాయడం లేదా ముద్రించడం వంటి కళల అధ్యయనం మరియు అనువర్తనానికి సంబంధించిన నానోటెక్నాలజీ యొక్క శాఖ. అక్షరాల కొలతలు నానోమీటర్ల క్రమంలో ఉంటాయి. నానోలిథోగ్రఫీలో ఉపయోగించే పరికరాలలో స్కానింగ్ ప్రోబ్ మైక్రోస్కోప్ (SPM) మరియు అటామిక్ ఫోర్స్ మైక్రోస్కోప్ (ATM) ఉన్నాయి. SPM ఉపరితల వీక్షణను తప్పనిసరిగా సవరించకుండానే చక్కటి వివరంగా అనుమతిస్తుంది. SPM లేదా ATM ఏదైనా ఒక అణువణువు పరిమాణంలో ఉపరితలంపై చెక్కడం, వ్రాయడం లేదా ముద్రించడం కోసం ఉపయోగించవచ్చు. నానోలిథోగ్రఫీ అనేది నానో-ఎడ్జ్ సెమీకండక్టర్ ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్‌ల (నానో సర్క్యూట్రీ), నానోఎలెక్ ట్రోమెకానికల్ సిస్టమ్స్ (NEMS) కోసం లేదా నానోసెర్చ్‌లోని వివిధ శాస్త్రీయ విభాగాలలో దాదాపు ఏదైనా ఇతర ప్రాథమిక అప్లికేషన్ కోసం నానో ఫాబ్రికేషన్ సమయంలో ఉపయోగించబడుతుంది. ఈ సాంకేతికత వివిధ సెమీకండక్టింగ్ ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్‌ల (ICలు), NEMS యొక్క నానో ఫ్యాబ్రికేషన్‌లో మరియు పరిశోధనలో వివిధ అనువర్తనాల కోసం ఉపయోగించడానికి అనుకూలంగా ఉంటుంది.